在半導(dǎo)體生產(chǎn)和制*工業(yè)中, 對(duì)空氣的潔凈度要求較高。典型的工作環(huán)境中, 每立方英尺空氣中含有500000個(gè)粒子, 而半導(dǎo)體生產(chǎn)的相當(dāng)新要求是每立方英尺空氣中只有1 個(gè)粒子。因此, 工作間需要用經(jīng)過高效過濾器過濾的潔凈空氣不斷地循環(huán)清洗。為保持HEPA 過濾器的潔凈和壽命, 還需要幾段效率較低的預(yù)濾器聯(lián)合使用。不同環(huán)境的工廠對(duì)不同的空氣質(zhì)量的要求差別很大。裝有排煙罩和污染控制設(shè)備的工廠需要補(bǔ)充大量的空氣, 如果這些工廠所在地區(qū)環(huán)境空氣受到污染, 那么在將補(bǔ)充的空氣分布到工作場(chǎng)所之前必須**行過濾。
對(duì)于工廠、車間排放的廢氣,要求相當(dāng)嚴(yán)格的是毒性。某些重金屬如汞、砷、鉻、鈹?shù)榷拘院艽? 其排放限制非常嚴(yán)格。在空氣毒性方面, 美國(guó)和德國(guó)已經(jīng)通過了新的更嚴(yán)格的立法。執(zhí)行新的立法后, 空氣毒性的限制由原來的20mg/m3 (標(biāo)準(zhǔn)) 降低到010004mg/m3 (標(biāo)準(zhǔn))。為達(dá)到這一目標(biāo), 工廠需要更**的高效過濾器以除去亞微粒子。工業(yè)用潔凈室要求連續(xù)有效地去除粒徑更小的粒子。HEPA 過濾器一度是效率相當(dāng)高的過濾器, 現(xiàn)在ULPA高效過濾器則是效率相當(dāng)高的過濾器, 以后更高效率的新一代過濾器也將得以開發(fā)應(yīng)用。微細(xì)玻璃纖維過濾介質(zhì)是過濾器介質(zhì)的主要選擇, 但膜和靜電增強(qiáng)介質(zhì)已向該領(lǐng)域滲透, 并獲得部分應(yīng)用。
